CCZK-SF濺控濺射鍍膜機——馳誠

提供高性能蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、磁控濺射鍍膜流水線、多弧離子鍍膜設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜設(shè)備、玻璃真空鍍膜設(shè)備、光學(xué)鍍膜設(shè)備、車燈保護膜專業(yè)真空鍍膜設(shè)備、UV自動噴涂流水線、UV手動噴涂流水線等，把最出色的，最人性化的，最適合的鍍膜涂裝設(shè)備和售后服務(wù)順利交付給千千萬萬的客戶，并為客戶創(chuàng)造價值！全國服務(wù)熱線：0577-56615101      http://www.zjcczk.com/

CCZK-SF濺控濺射鍍膜機——產(chǎn)品信息

本設(shè)備最大特點是具有通過高速反應(yīng)濺射技術(shù)，生長高性能氧化物薄膜能力。在本設(shè)備中集成了中頻電源技術(shù)、直流脈沖電源技術(shù)、高能脈沖電源技術(shù)、射頻電源技術(shù)等手段進行氧化物薄膜的反應(yīng)濺射高速生長，并通過PEM及靶電壓監(jiān)控技術(shù)，有效進行氧分壓控制，使氧化物薄膜高性能、高速沉積。設(shè)備也支持常規(guī)的直流濺射方式生長金屬薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、附著力，設(shè)備具有濺射速率快、基片升溫低、加熱穩(wěn)定等特點。

產(chǎn)品采用全自動控制方式，使工藝重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證，從而獲得穩(wěn)定的薄膜生長速率，并能對薄膜生長特性施加控制。設(shè)備的數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺。

1.可鍍膜各種玻璃材質(zhì)，配多只多弧靶及矩形磁控靶，可鍍仿金色/亮灰色/槍黑色/玫瑰金/咖啡色/各金屬色等高端流行色。

2.廣泛應(yīng)用于手機外殼、衛(wèi)浴潔具、五金飾品及標牌等鍍膜。

亦可濺射塑料制品、陶瓷、馬賽克、樹脂、水晶玻璃制品等、工藝品、塑料手機殼、電子產(chǎn)品、建材等行業(yè)。

馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備

真空結(jié)構(gòu)

可定制立式，箱體式，圓筒式腔體

襯板

0.6mm鑲嵌不銹鋼

工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)

行星公自傳，根據(jù)濺射基片合理設(shè)計旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)

極限真空（空載、清潔）

8.0×10-5Pa

抽氣時間
(空載、干凈容體）

5.0×10-2Pa≤5min

磁控電源

可配備直流或中頻磁控濺射電源，采用三石研究所產(chǎn)品

真空獲得系統(tǒng)

擴散泵或分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵(可選深冷泵配置）

磁控靶材

可配備平面靶，圓柱中心靶，孿生靶，實現(xiàn)單靶或多靶濺射，因基片設(shè)計而不同

濺射速率

因基片材料，工藝而不同

可濺射膜層

可濺射單層膜，或多層膜

氣體控制

配備七星華創(chuàng)氣體流量控制儀和氣體流量閥

報警及保護

對缺水、過流過壓、斷路、聲光等異常情況進行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護措施。

智能控制

全彩觸控屏+可編程PLC控制（可實現(xiàn)邏輯自動，半自動，手動控制）

其他技術(shù)參數(shù)

水壓0.2～0.3MPa、水溫≤25℃、氣壓0.5-0.8MPa

備注

鍍膜設(shè)備的具體配置可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品工藝要求進行設(shè)計。

馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備

真空結(jié)構(gòu)

可定制立式，箱體式，圓筒式腔體

襯板

0.6mm鑲嵌不銹鋼

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